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洁净室空调净化系统主要几种形式

2026-01-28

空调净化系统
一、电子工业洁净室空调净化系统主要形式
电子工业洁净室空调净化系统主要有以下几种形式:
1垂直单向流集中送风方式;
2风机过滤单元送风方式;
3隧道送风方式;
4非单向流送风加层流罩送风方式;
5微环境方式。
以上5种送风方式比较见表9-11。

 

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